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期刊名稱： | 微細加工技術 |
| 期刊級別： | 國家級 | |
| 國內統一刊號： | 43-1140/TN | |
| 國際標準刊號： | 1003-8213 | |
| 期刊周期： | 雙月刊 | |
| 主管單位： | 中國電子科技集團公司第48研究所 | |
| 主辦單位： | 中國電子科技集團公司第48研究所 | |
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《微細加工技術》創刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內外公開發行的中央級重要科技期刊。是國家一級檢索刊物，已連續9年被美國工程信息公司Ei數據庫收錄，是《中國期刊網》、《中國學術期刊(光盤版)》、《中國學術期刊綜合評價數據庫》全文收錄用刊，是《中國科學引文數據庫》來源期刊。
《微細加工技術》目前已停刊，具體復刊時間以雜志社官方消息為準。
微細加工技術雜志欄目設置
綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術
微細加工技術雜志榮譽
EI 工程索引(美)萬方收錄(中)上海圖書館館藏國家圖書館館藏知網收錄(中)統計源核心期刊(中國科技論文核心期刊)維普收錄(中)Caj-cd規范獲獎期刊全國中文核心期刊
期刊收錄論文目錄：
用于非球面測試的位相型計算全息圖制作 馬杰;朱效立;謝常青;葉甜春;趙珉;劉明;陳寶欽;朱日宏;高志山;馬駿 (7-8)
高高寬比硬X射線聚焦波帶片的制作 吳璇;陳軍寧;朱效立;牛潔斌;李亞文;胡松;謝常青 (9-11)
射頻磁控共濺射高溫NH3退火制備CuO/SiO2復合薄膜的微觀結構 石鋒;李玉國;孫欽軍 (12-13)
Fe-ZnSe納米復合顆粒膜的制備和磁電阻效應 張林;張昌文;王永娟 (14-15)
Cu摻雜濃度對ZnO薄膜的結構、透光性和電學性質的影響 徐慶巖;吳雪梅;諸葛蘭劍;陳學梅;吳兆豐 (16-18)
聚合物Parylene C薄膜的反應離子刻蝕研究 王亞軍;劉景全;沈修成;楊春生;郭中元;芮岳峰 (19-21)
高析氫活性Ni-Mo-Zn合金電極的制備與表征 朱波;劉貴昌;施志聰;王華;劉偉 (22-25)
SOI微加速度傳感器結構設計與工藝實現 徐春曉;房立清;周新偉 (26-27)
陶瓷釉用TiO2光催化劑的制備研究 陳前林;吳建青;王龍現; (28-30)
低相位噪聲毫米波平面振蕩器研究 程知群;周云芳;張勝 (31-33)
共縮聚法制備功能化P(St-MPS)/MCM-41核殼復合微球 趙彥生;陳凱;劉永梅;劉成岑;張向英;申迎華
